주식회사 에이아이비즈(대표 하승재)는 ‘복수의 이상 탐지 기법을 통합하여 공정 설비의 이상을 탐지하는 방법, 장치 및 프로그램’에 대한 특허를 등록했다고 밝혔다.해당 특허는 다양한 제조 공정에서 작업자들의 수작업으로 이루어지는 공정 데이터 관리 및 분석의 한계를 극복하는 데 중점을 두고 있다. 유기적으로 연계된 제조 공정 시스템에서 일부 공정 설비에 이상이 발생할 경우, 전체 공정 및 생산품에 불량이 발생할 수 있다. 기존의 공정 설비 이상 탐지 시스템은 숙련된 작업자가 방대한 데이터를 수작업으로 확인해야 한다. 작업자가 실시간 데이터를 모두 검토하기 어렵고, 경험이 부족한 작업자는 데이터의 이상을 정확히 판정하기 힘들다.이번 특허는 복수의 이상 탐지 기법을 통합하여 공정 설비의 이상을 자동으로 탐지한다. 반도체 제조 공정 중 발생하는 다량의 데이터(Bin, PCM, Wafer Map, FDC Data)가 활용된다. AI 기술을 통해 결함 패턴을 분석하고, 비정상 데이터를 효율적으로 탐지한다. 이 기술은 반도체 제조 공정을 비롯한 다양한 산업 분야에 적용될 수 있다. 에이아이비즈는 자동화된 이상 탐지 시스템이 작업자의 숙련도 편차를 줄이고, 실시간 데이터 분석을 통해 신속한 현장 대응으로 전체 공정의 수율을 개선할 수 있다고 설명했다.에이아이비즈 하승재 대표는 “이번 특허는 앞서 공개된 ‘공장 설비의 비정상 동작 탐지를 위한 딥러닝 모델의 학습 방법’ 특허에 이어 제조 업계의 생산성 향상과 수율 개선 등 다방면의 이점을 가져올 것이다”라며, “앞으로도 에이아이비즈는 탄탄한 기술력을 바탕으로 실시간 공정진단 AI의 새로운 패러다임을 제시하며 기존 업계 방식을 혁신하겠다”라고 전했다.